- د حجرو ټولې پرمختللې ټکنالوژۍ په عمده توګه د غیر فعالولو په برخه کې توپیر لري.
- په غیر فعالولو کې دوه طریقې شاملې دي: د ساحې اغیز غیر فعالول او کیمیاوي غیر فعالول.
- پداسې حال کې چې کیمیاوي پاسیویشن د ځړونکو بانډونو د مشبوع کولو سره معامله کوي، د ساحې اغیز پاسیویشن د سطحې ته نږدې د بریښنایی ساحې رامینځته کولو سره معامله کوي ترڅو د ورته قطبي چارج وړونکي بیرته وګرځوي.
د لمریزې حجرو ټولې پرمختللې ټکنالوژۍ د حجرو مختلف جوړښت لري او د پروسې جریان یې خورا مختلف دی. په هرصورت، د پراخ لید څخه، د پاسیویشن سکیم د دې ټولو لوړ موثریت لرونکي حجرو ټیکنالوژیو لپاره کلیدي توپیر کوونکی عنصر دی. د پاسیویشن ترتیب سره سم د فلز کولو پروسې بدلول د دې ټولو پرمختللو حجرو ټیکنالوژیو پلي کولو یوه بله مهمه برخه ده. لاندې د پاسیویشن اساساتو لنډ لنډیز دی.
د Passivation اساسات
د سیلیکون ویفر - اساسي خام مواد - لاهم د حجرو کرښې ته د ننوتلو په وخت کې ذاتي نیمګړتیاوې لري. ترټولو مهم یې د سطحې نیمګړتیاوې دي چې د یوې انګوټ څخه د ویفرونو د ټوټې کولو له بنسټیزې پروسې څخه رامینځته کیږي چې په دواړو ویفر سطحو کې د کرسټال جالیو ګډوډي رامینځته کوي. د سیلیکون اتومونو په دوراني ترتیب کې دا مداخلې د تش په نامه ځړونکي بانډونو پایله لري، چې د بیا ترکیب مرکزونو په توګه کار کوي. پاسیویشن یوه پروسه ده چې په کې دا نیمګړتیاوې غیر فعال کیږي ترڅو د چارج کیریرونو سطحې بیا ترکیب کم کړي، د حجرو موثریت خوندي کړي.
د غیر فعالولو دوه بشپړونکي طریقې شتون لري: الف) د یو قطبي چارج کیریرونو په کلکه کمول چې سطحې ته رسیږي، او ب) د ځوړند بانډونو د مشبوع کولو له لارې د انٹرفیس حالت کمول. وروستی بیا په دوه لارو ترسره کیدی شي. یو دا دی چې په ساده ډول د سطحې طبقې د ودې لپاره مناسب شرایط چمتو کولو سره په سطحه کې د ځوړند بانډونو مشبوع کول چې اتومونو ته د دې ځوړند بانډونو د مشبوع کولو لپاره د مطلوب انرژۍ کچې ته د رسیدو لپاره کافي وخت او انرژي ورکوي. په بدیل سره، یو څوک کولی شي د هایدروجن بډایه ډایالټریک فلم زیرمه کړي چې په راتلونکو ډزو مرحلو کې هایدروجن خوشې کوي. وړیا هایدروجن د ځوړند بانډونو خالي ځایونه نیسي، په دې توګه دوی اراموي. دې طریقې ته ویل کیږي کیمیاوي جذب.
یو بل میکانیزم شتون لري چې نوم یې دی د ساحې اغیزې غیر فعالول، چې د سطحې ته نږدې د بریښنایی ساحې رامینځته کول پکې شامل دي چې کولی شي د ورته قطبي چارج وړونکي بیرته وګرځوي. دا د لوړ سطحې غلظت څخه د ډوپانټ کثافت ښکته کیدو له لارې ترلاسه کیدی شي. په سر کې، د لوړ ثابت چارجونو سره د ډایالټریک طبقه پلي کول هم سطحې ته نږدې د بریښنایی ساحې تدریجي رامینځته کوي، کوم چې د ساحې اغیزې غیر فعال کول چمتو کوي (ګراف وګورئ). د دې اساسي اصل په تعقیب، د هر پرمختللي حجروي جوړښت یو ځانګړی غیر فعال کولو سکیم لري.
د سرچینې څخه د تای یانګ خبرونه
